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雙股流法濕度發(fā)生器非標定制利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。

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小型雙溫雙壓濕度發(fā)生器利用壓強差來產生飽和濕空氣的裝置，能夠提供準確的濕度環(huán)境是目前準確度最高的濕度標準源。

濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器半導體芯片老化測試用兼具便攜式結構與高精度計量性能的溫濕度校準儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計量校準需求。

氣體濕度發(fā)生器采用質量流量計控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。