晶圓清洗蒸汽發(fā)生器

晶圓清洗蒸汽發(fā)生器通過精密計量泵精準(zhǔn)控制進(jìn)液量，通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進(jìn)行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。另外可以通過質(zhì)量流量器一路惰性載氣進(jìn)行混合控制從而達(dá)到工藝要求。分為小試裝置和大中試裝置。小試裝置主要作為實(shí)驗(yàn)室設(shè)備使用，其液體水流量達(dá)10-80g/min。大中試裝置流量大，主要應(yīng)用于量產(chǎn)，其液體水流量達(dá)12-48kg/h。

技術(shù)優(yōu)勢：

• 采用特殊算法

精確控制汽化進(jìn)口的水流量和汽化過程中功率、液位、壓力、溫度等 最終達(dá)到對出口蒸汽的調(diào)節(jié)。精密控制精度，蒸發(fā)量大范圍精準(zhǔn)可調(diào)

• 采用特殊汽化結(jié)構(gòu)
  

大幅抑制汽化不均勻而產(chǎn)生的脈動汽化過程穩(wěn)定，成份均勻

• 模塊化設(shè)計
  

結(jié)構(gòu)簡潔，接口和安裝形式均可按應(yīng)用快速定制，可集成，溫度/濕度/壓力可按需定制

• 高效且瞬間汽化    
  

比傳統(tǒng)汽化效率更高 更快

產(chǎn)品特點(diǎn)：

快速啟動 數(shù)秒內(nèi)可以完成啟動

設(shè)備體積小，輕便，只有傳統(tǒng)蒸氣發(fā)生器體積的十分之一

精度確度高，可達(dá)±1%

出口溫度調(diào)節(jié)范圍廣，范圍從100至800℃

氣化通道無死體積

換熱效率高，熱損失小

出氣穩(wěn)定，不冷凝

進(jìn)液流量 溫度等參數(shù)可設(shè)置

運(yùn)行狀態(tài)直觀顯示

可支持實(shí)時在線數(shù)據(jù)的讀取與保存

可集聯(lián)與遠(yuǎn)程

可按需求定制

設(shè)備壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換