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干法去膠水蒸汽發(fā)生器通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。

半導(dǎo)體蒸汽發(fā)生器蒸汽出口溫度可到1200℃，液態(tài)水蒸發(fā)量達(dá)1000mL/min。集精準(zhǔn)控制、高效能、輕量化與一體，通過精密計量泵控制進液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

潔凈蒸汽發(fā)生器內(nèi)置高效過濾器，實現(xiàn)了蒸汽品質(zhì)的跨越式提升，適配對雜質(zhì)零容忍的精密生產(chǎn)與科研場景。

大流量蒸汽發(fā)生器通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

智能蒸汽設(shè)備通過精密相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，水蒸氣通過高溫耐腐蝕預(yù)熱器將水蒸氣的溫度升至100℃-800℃，可以穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。

多孔碳活化用蒸汽發(fā)生器出口溫度可調(diào)節(jié)范圍廣，100~1000℃，蒸氣流量精度高，可達(dá)±1%，蒸氣氣態(tài)流量可從1mL/min~1000L/min可選，液態(tài)水蒸發(fā)量可從0.5uL/min~1000mL/min可選。